Eksperimental'naya demonstratsiya mikroobrabotki poverkhnosti polistirola s ispol'zovaniem fotonnogo kryuchka
- Authors: Minin O.V1, Minin I.V1,2
-
Affiliations:
- Национальный исследовательский Томский политехнический университет
- Филиала Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН “Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники”
- Issue: Vol 120, No 1-2 (2024)
- Pages: 152-156
- Section: Articles
- URL: https://rjsvd.com/0370-274X/article/view/664433
- DOI: https://doi.org/10.31857/S1234567824140118
- EDN: https://elibrary.ru/XBVMUU
- ID: 664433
Cite item