About the authors
Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
Author for correspondence.
Email: eg.ad2013@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0002-5618-0608
Russian Federation, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
Email: eg.ad2013@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0003-3882-389X
д.т.н.
Russian Federation, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
Email: eg.ad2013@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0002-2905-4649
Russian Federation, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
Email: eg.ad2013@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0002-4563-9831
д.т.н.
Russian Federation, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
Email: eg.ad2013@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0002-0279-2393
д.т.н.
Russian Federation, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
Email: eg.ad2013@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0001-5108-0555
к.т.н.
Russian Federation, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1
Научно-производственный комплекс «Технологический центр»
Email: eg.ad2013@yandex.ru
ORCID iD: 0000-0002-2464-8712
Russian Federation, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1