Адгезия к монокристаллическому кремнию пленок диазохинонноволачных фоторезистов, облученных электронами
- Authors: Вабищевич С.А.1, Вабищевич Н.В.1, Бринкевич С.Д.2,3, Бринкевич Д.И.2, Просолович В.С.2, Ластовский С.Б.4
-
Affiliations:
- Полоцкий государственный университет им. Евфросинии Полоцкой
- Белорусский государственный университет
- ООО “Мой медицинский центр – высокие технологии”
- ГО “НПЦ НАН Беларуси по материаловедению”
- Issue: Vol 58, No 1 (2024)
- Pages: 60-68
- Section: RADIATION CHEMISTRY
- URL: https://rjsvd.com/0023-1193/article/view/661456
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0023119324010068
- EDN: https://elibrary.ru/JZBZOQ
- ID: 661456
Cite item