Email this article Исследование функции распределения электронов по скоростям в слабоионизированной ВЧ-плазме
- Authors: Шемахин А.Ю.1
-
Affiliations:
- Казанский (Приволжский) федеральный университет
- Issue: Vol 58, No 2 (2024)
- Pages: 147-152
- Section: PLASMA CHEMISTRY
- URL: https://rjsvd.com/0023-1193/article/view/661360
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0023119324020117
- EDN: https://elibrary.ru/VRQRDG
- ID: 661360
Cite item
Open Access
Access granted
Abstract
Одной из наиболее важных характеристик низкотемпературной плазмы является функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) или же по скоростям. В работе рассмотрено влияние электромагнитного поля на значения функции распределения электронов по скоростям (ФРЭС) при давлении от 13.3 до 133 Па для напряженностей электрического поля от -3000 до 3000 В/м в высокочастотном разряде со степенью ионизации 10−4−10−6. Показано, что на низких частотах ВЧ-электромагнитного поля (0.44–1.76 МГц) и с уменьшением частоты соударений до 5 × 107 Гц, при увеличении напряженности по модулю до 3000 В/м отклонение ФРЭС от ФРЭС Максвелла составляет до 35%. Это оказывает существенное влияние на коэффициенты диффузии и подвижности, разница в которых может составлять до 25% в рассмотренном диапазоне параметров.
Full Text
About the authors
А. Ю. Шемахин
Казанский (Приволжский) федеральный университет
Author for correspondence.
Email: shemakhin@gmail.com
Russian Federation, 420111, Респ. Татарстан, Казань, ул. Кремлевская, 18
References
- Bogaerts A. et al. // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 2002. V. 57. № 4. С. 609–658.
- Samukawa S. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2012. V. 45. №. 25. P. 253001.
- Chu P.K., Lu X.P. (ed.). Low temperature plasma technology: methods and applications. CRC press, 2013. 494 р.
- Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2017. V. 50. № 32. P. 323001.
- Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. V. 55. № 37. P. 373001.
- Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Кашапов Н.Ф. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения. Казань: Изд-во Казанского государственного университета, 2000.
- Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Абуталипова Л.Н., Красина И.В. Высокочастотная плазменная обработка в динамическом вакууме капиллярно-пористых материалов: теория и практика применения. Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2004.
- Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления. Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.
- Абдуллин И.Ш. и др. // Химия высоких энергий. 2012. Т. 46. №. 4. С. 319–323.
- Гинзбург В. Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. Москва: Наука, 1967.
Supplementary files
